
跟着科技的前进和产品技能的不断提升以及我国对外开放的深化,大批的外资企业在我国建立其制作基地,特别是近年来半导体职业的大举进入,其全新的出产工艺及出产过程中对环境温、湿度、洁净度的较高要求,需求我们供给一个比较有效且比较低能耗的空调体系,特别需求有低湿度的空调环境确保。
现在,空气除湿主要有四种办法,通风除湿、冷却除湿、液体吸湿剂除湿和固体吸附剂除湿。在空调除湿体系中,冷却除湿和固体吸附剂除湿是主要手法。冷却除湿在环境对湿度要求不是很高(RH≯60~65%)的条件下,作用仍是比较好,功用安稳且能耗也比较低,现在应用比较广泛。但在出产环境对湿度要求较高(RH=45±5%)的当地,选用冷却除湿显着是不经济的。选用转轮除湿机,将不受空气露点影响,且除湿量大,特别适用于低湿条件下,但如果全部除湿仅选用固态吸附原理的转轮除湿机进行,因为其再生耗能量也比较大,此种计划也不是较经济的。因为转轮除湿和冷却除湿各有所长,将其优化组合,各取所长,互补所短,会更好的发挥其效能。
2.湿度在半导体职业中的要求半导体的出产工厂要在全年四季的气候条件下,出产车间内部要求维持安稳的环境,特别是关于出产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织,压力平衡等多个空调参数都提出了严厉的要求。有别于其他的恒温恒湿环境体系的要求,因为电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响,其对湿度的精度提出了严厉要求,关于空调体系的装备,则要求体系一起具有夏日除湿的功用和冬天加湿的功用。一般的,半导体出产职业的温湿度条件为:T=22±2°C,RH=45±5%;而关于这个温湿度要求,传统上经常选用冷冻除湿+后加热(再热)办法进行处理,并取得了必定成果。但这种办法却存在着一个致命问题,冷热的抵消和能耗的巨大糟蹋,特别是因为半导体职业的大新风,大排风体系、出产环境为大空间洁净环境以及现在许多厂主要集中散布在华南和华东地区的特殊状况,使得这个问题十分杰出。因而,在较新的许多半导体厂房的空调体系开始使用新风经过新风机组(冷却除湿)和转轮除湿机联合处理湿度、温度然后经往后空调机组处理的组合办法,到达室内送风温、湿度要求,并取得了显着收益。
3.工程实例一、设计条件及要求:a、室内要求:T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b、洁净等级:10K(10000级);c、体积:S=2000m2;H=2.8m;d、工作人员:30名,车间无工艺湿负荷;e、新风量:9500m3/h;f、送风量:120000m3/h,正压5~10PA;g、室外环境条件:T=35℃;RH=70%;d=25g/kg;
二、空调体系设计计划及优缺点:a、计划A:新风机组(MAHU)+组合式空气处理机组(AHU),其空气处理过程如下:新风过滤经表冷处理后与房间回风混合,再经表冷器处理到机器露点(TL=12℃)后再加热至送风温度(T=18.5℃)后,统一送风到车间。剖析如下:因为车间内部的露点温度为11.5℃,并且设计条件中车间内无其他工艺湿负荷。根据这种条件,我们假定车间内部没有任何产湿量,则需求送风露点和车间相同为11.5℃,这时关于新风和回风到达11.5℃露点所需求的冷量为:新风冷负荷:9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新风预冷至18℃,95%)回风冷负荷:120000*1.2*(44-33)/3600=440Kw总计:162+440=602Kw;而在处理空气露点温度到达车间露点温度后,需求进行加热补偿,以确保送风温度的要求,这时所需求的再热量为:再热负荷:120000*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw总能耗为:冷:602Kw.热:272Kw.从上述剖析和核算可得出,能耗抵消为:272Kw但实际上,车间内部因为人员的工作,保护结构的表里的水蒸汽分压力差以及车间门的敞开等要素,车间内不可避免的存在湿负荷,这要求送风露点温度应略低于车间内部露点温度,这会导致更大的冷热能耗抵消。
一般的,因为新风的焓值十分高,无法经过新风表冷器直接将新风冷却到11℃露点温度。所以经常选用新风和回风混合后,再表冷器处理的办法进行操作。一起,这种空调体系不仅要求在夏日可以一起满意制冷(控温文除湿)和供热(满意湿度要求)功用;并要求在某些过渡季节甚至冬天相同需求敞开制冷机组,意图仅仅是除湿(对新风进行降温除湿)。然后再经往后加热补偿的办法,重新操控室内的温度要求,糟蹋了大量的能源更为严重的是,在某些状况下,后加热的装备量往往偏低,特别是后加热器选用电加热时,这种状况更为常见。这时的空气因无法得到足够高的送风温度而导致车间内部的相对湿度偏高,这种状况下,要求制冷机组需求将送风露点(温度)进一步下降,而在送风露点下降时,温度随之下降然后导致车间内部的湿度无法得到严厉确保。关于制冷机组,需求将空气处理到11℃露点温度,因而要求冷水温度一般为5~10℃。但在这种工况下,制冷机组的功率也往往会有所衰减,然后需求装备较大容量的制冷设备,引起先出资的增加。
b.计划B:新风机组(MAHU)+转轮除湿机组(Dehumidifier)+组合式空气处理机组(AHU),其空气处理过程如下:新风过滤,经过新风表冷器,一般处理到18℃露点,之后经过转轮除湿机进行等焓除湿(空气露点为4℃,d=5.2g/kg,T=42℃);除湿后的干热空气再和回风混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg),经往后表冷器进行干工况降温处理到送风温度(18.5℃),送风到车间。能耗为:新风表冷冷负荷:9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw除湿机能耗:125Kw后空调冷负荷:120000*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw总能耗为:冷:363Kw.热:125Kw.c.计划比较:传统冷冻除湿+后加热体系转轮除湿机体系新风表冷能耗162Kw162Kw后表冷器能耗440Kw201Kw电加热能耗272Kw125Kw总能耗(折算为电能):383.8Kw193Kw由上述剖析和核算可得出,使用转轮除湿机体系和传统的冷冻除湿机+后加热器办法,能耗节约为45%左右。一起,因为转轮除湿机可以将新风进一步除湿干燥,以抵消车间的其他室内湿负荷,尤其是在体系初期调试及房间发热量不足(即出产开工不足)期间,这种体系运行愈加可*,安全性更好,完全可以满意半导体洁净车间全天候的出产要求。
4.转轮与冷却联合式除湿空调体系的特性转轮与冷却联合除湿空调体系,便是将具有冷热交换的冷却除湿循环体系与转轮除湿相结合,使用制冷体系的吸热除湿进行前期除湿,而使用转轮除湿机进行深度除湿。冷却除湿在必定的范围内除湿作用好,且功用安稳,但当湿度要求较低时,冷却除湿的能力显着下降,此刻选用转轮与冷却联合除湿体系,可以到达很好的作用。冷却除湿作为前期除湿,杰出了冷却除湿机高露点工况下能耗低的特点,使用转轮除湿进行深度除湿,杰出了转轮除湿机低温低湿条件下,不受露点约束且除湿量大的优点。此体系常用的处理流程如下:1:冷却除湿;2:转轮除湿;3:等湿冷却;5:再生加热;6:绝热再生5.结论在低湿环境条件下,选用转轮与冷却联合式除湿空调体系具有仅冷却除湿机不可比拟的优越性。
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